Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM)

Carl Zeiss 300VP SEM Cihazı                                                                   Kaplama (QUORUM Q150 RES) 

                Taramalı Elektron Mikroskopu (SEM) cihazı ile görüntüleme, numuneye gönderilen hızlandırlmış elektronların numunenin atomları ile etkileşmesi sonucunda saçılan elektronların çeşitli dedektörler yardımıyla analiz edilmesi esasına dayanır. Bu saçılmaların değerlendirilmesi ile malzeme içerisindeki yapıların mikro(10^-6m) ve nano(10^-9m) mertebesinde görüntüleme analizi yapılabilmektedir. Ayrıca numune içerisinde nitel ve nicel elementel analizi yapılabilmekte olup haritalandırma tekniği ile elementlerin dağılımı izlenebilmektedir.

                Carl Zeiss 300VP SEM cihazı ile numunelerin kaplama yapılmadan görüntülemesi yapılabilmekte olup ,  iletken olmayan numunelerde daha ayrıntılı ve net  görüntü alınabilmesi için QUORUM Q150 RES kaplama cihazı kullanılabilir. 

                Merkezimizde bulunan SEM cihazının dedektörleri ve bunların analiz kabiliyetleri aşağıda belirtilmiştir.

• Yüksek vakum koşulları altında ikincil elektron (SE) dedektörü- 3 boyutlu görüntü elde etme,
• Geri saçılmış elektron (BSE) dedektörü veya karışık (SE+BSE): Atomik kontrasta bağlı 2 boyutlu görüntü elde etme,
• In-Lens dedektörü: 1.5 milyon büyütmeye kadar topografik görüntü elde etme,
• C2D dedektörü: Topografik görüntü elde etme,
• HD-BSD dedektörü: Topografik görüntü elde etme,
• Tarama transmisyon elektron (STEM) dedektörü: 30kV’ya kadar TEM görüntüleri, 
• EDX dedektörü ile malzeme icerindeki yapıların nitel ve nicel elementel analizi yapılabilmekte ve haritalandırma ile malzemelerin dağılımı belirlenebilmektedir.