ICP-MS cihazı mineral ve ağır metal analizlerinde hız ve yüksek hassasiyet gerektiren analizler için geliştirilmiştir. Plazma gaz olarak argon gazı kullanılır. Yüksek sıcaklıkta numune iyonlaştırılır, iyonlaştırılan elementler kütle spektrometresi tarafından ayrıştırılır ve element derişimleri elektron çoklayıcı bir dedektör tarafından ölçülür.  Aynı anda ve kısa sürede birçok elementin analizi yapılabilir. Çevre bilimi, ilaç endüstrisi, tarım ve gıda araştırmaları, malzeme bilimi, tıp bilimleri, ambalaj ve oyuncak gibi birçok alanda uygulamalara sahiptir

Laboratuvarımızda 2-260 u kütle aralığında çalışan Agilent ICP-MS sistemi bulunmaktadır.